測量原(yuán)理(lǐ) 測量基準

海德(dé)漢(hàn)公司的光學掃描光(guāng)柵(zhà)尺或編(biān)碼器的(dí) 測量基(jī)準都是(shì)周期(qī)刻(kè)綫－光柵。 這(zhè)些光柵刻(kè)在(zài)玻璃(lí)或(huò)鋼(gāng)材(cái)基(jī)體上。大(dà)長 度(dù)測(cè)量用(yòng)的(dí)光柵尺帶(dài)的(dí)基(jī)體(tǐ)為鋼帶。 海德(dé)漢(hàn)公司用以下特(tè)別開發(fā)的光(guāng)刻工藝 製造精密光(guāng)柵。

• AURODUR：在鍍金(jīn)鋼帶上蝕刻(kè)綫條， 典(diǎn)型(xíng)柵(zhà)距(jù)40 µm

• METALLUR：抗汙染(rǎn)的鍍(dù)金(jīn)層金(jīn)屬(shǔ)綫， 典(diǎn)型(xíng)柵(zhà)距20 µm

• DIADUR：玻璃(lí)基體(tǐ)的超硬(yìng)鉻(gè)綫（典型柵(zhà) 距(jù)20 µm）或(huò)玻(bō)璃(lí)基(jī)體的(dí)三(sān)維鉻(gè)綫格(gé)柵(zhà) （典型(xíng)柵(zhà)距8 µm）

• SUPRADUR相(xiāng)位光柵(zhà)：光學(xué)三(sān)維(wéi)平麵(miàn)格(gé) 柵綫條(tiáo)；*抗汙能(néng)力；典(diǎn)型(xíng)柵距不(bù)超(chāo) 過8 µm

• OPTODUR相(xiāng)位光柵(zhà)：光(guāng)學(xué)三維平(píng)麵格柵(zhà) 綫條(tiáo)，超高(gāo)反光性能(néng)，典(diǎn)型柵距(jù)不超(chāo)過 2 µm 這(zhè)種方法(fǎ)除了能刻製(zhì)柵距非(fēi)常(cháng)小的光(guāng)柵 外，而且刻製的(dí)光柵(zhà)綫條(tiáo)邊緣清晰(xī)，均 匀。再(zài)加(jiā)上(shàng)光(guāng)電掃描法，這些邊(biān)緣清晰 的刻綫(xiàn)是輸(shū)出(chū)高質量(liáng)信(xìn)號(hào)的關(guān)鍵。 母版光(guāng)柵采(cǎi)用海(hǎi)德(dé)漢公司(sī)定製的(dí)精(jīng)密(mì) 刻綫(xiàn)機製造。

測量法(fǎ)

測量(liáng)法是指(zhǐ)編(biān)碼器通(tōng)電時(shí)就(jiù)立(lì)即(jí)提供 位(wèi)置值並隨時供後續信號處(chǔ)理(lǐ)電子電路讀 取(qǔ)。無(wú)需移動軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操(cāo)作。絕(jué) 對位(wèi)置信息來(lái)自光柵碼盤(pán)，它(tā)由一係列絕(jué) 對碼組成。單(dān)獨(dú)的(dí)增量(liáng)刻軌信號(hào)用於在(zài)細 分後(hòu)得到位置(zhì)值，同時也(yě)生成(chéng)供選(xuǎn)用(yòng)的(dí)增(zēng) 量信號（與(yǔ)接口類型(xíng)有關(guān)）。

增(zēng)量測(cè)量法(fǎ)

增量測量法的(dí)光(guāng)柵由周(zhōu)期(qī)性刻綫組(zǔ)成。位(wèi) 置(zhì)信(xìn)息(xī)通(tōng)過計(jì)算(suàn)自某個設(shè)置(zhì)的原(yuán)點(diǎn)開始的(dí) 增量數（測量步距數(shù)）獲得(dé)。由於必(bì)須(xū)用(yòng) 參考(kǎo)點(diǎn)確定(dìng)位(wèi)置(zhì)值(zhí)，因(yīn)此測(cè)量基(jī)準的 光(guāng)柵(zhà)尺上還刻有一個(gè)參(cān)考點軌(guǐ)。參考(kǎo)點確(què) 定(dìng)的光柵(zhà)尺(chǐ)帶的位置值(zhí)可以精(jīng)確到一 個信(xìn)號周(zhōu)期(qī)。因此，必(bì)須(xū)通(tōng)過掃描參考點 建立基(jī)準(zhǔn)點或確(què)定上次(cì)選擇(zé)的(dí)原點(diǎn)。 差情(qíng)況(kuàng)時，機床(chuáng)需(xū)要移動測量(liáng)範圍上(shàng)的 較大部(bù)分(fēn)。為加快(kuài)和簡化“參(cān)考(kǎo)點回(huí)零” 操(cāo)作(zuò)，許多(duō)海(hǎi)德(dé)漢(hàn)光柵(zhà)尺(chǐ)刻有(yǒu)距(jù)離(lí)編碼(mǎ)參(cān) 考點(diǎn)，這些參(cān)考點彼此相距(jù)數(shù)學(xué)算(suàn)法確(què)定 的距離。移過(guò)兩個(gè)相(xiāng)鄰參考點(diǎn)後（一般(bān)隻(zhī) 需(xū)運動數毫(háo)米）（見(jiàn)下表(biǎo)），後(hòu)續(xù)電子電(diàn) 路就能找(zhǎo)到(dào)參(cān)考(kǎo)點位置(zhì)。

heidenhain海(hǎi)德(dé)漢光柵尺LIP 201精度0.001µm

LIP 211，LIP 281，LIP 291 增量(liáng)式直(zhí)綫光柵(zhà)尺，精度(dù)高和重復(fù)精(jīng)度高(gāo)

• 測量步距可(kě)達(dá)0.001 µm（1 nm）或(huò)更小

• 用(yòng)於高(gāo)運動速度和(hé)大測量(liáng)長(cháng)度

• 測(cè)量(liáng)基準用(yòng)固定(dìng)架固(gù)定(dìng)

• 由光柵(zhà)尺(chǐ)和(hé)讀數(shù)頭組(zǔ)成(chéng)

如(rú)有需(xū)要(yào)詳情，請見(jiàn)： heidenhain海德漢光柵尺(chǐ)LIP 201精(jīng)度0.001µm