直綫光(guāng)柵尺測(cè)量直綫軸位置，測量(liáng)期間(jiān)沒(méi) 有(yǒu)任(rèn)何其(qí)它(tā)機械傳動件。因此，它能消除 以下(xià)潛(qián)在誤(wù)差源： • 滾珠絲杠溫度特(tè)性導致的(dí)定(dìng)位(wèi)誤(wù)差(chà)

• 反向(xiàng)誤差 • 滾珠(zhū)絲杠(gàng)螺(luó)距誤(wù)差(chà)導(dǎo)致(zhì)的運(yùn)動特性誤差 因此(cǐ)，直(zhí)綫(xiàn)光柵尺是(shì)高(gāo)精(jīng)度定位(wèi)和(hé)高(gāo)速(sù)加(jiā) 工(gōng)機床*的基(jī)礎(chǔ)技(jì)術(shù)手(shǒu)段。 敞開式(shì)直綫光(guāng)柵尺(chǐ)設計(jì)用(yòng)於超高測(cè)量精(jīng)度 的機(jī)器和係(xì)統。

典型(xíng)應(yīng)用(yòng)包括：

• 半導體(tǐ)工業的測(cè)量和生產設(shè)備

• PCB電路(lù)板組(zǔ)裝機(jī)

• 超精密機床(chuáng)，例(lì)如(rú)加(jiā)工光學(xué)器(qì)件(jiàn)的金(jīn)剛(gāng) 石刀具(jù)，加(jiā)工(gōng)磁(cí)盤的端麵車(chē)床和(hé)加工鐵(tiě) 氧體元件的(dí)磨(mó)床(chuáng)

• 高精度機床(chuáng)

• 測(cè)量機和比較儀，測(cè)量顯微(wēi)鏡和(hé)其(qí)它精 密(mì)測量設備

• 直(zhí)驅(qū)電(diàn)機(jī) 機(jī)械(xiè)結(jié)構(gòu) 敞開式直綫(xiàn)光(guāng)柵尺(chǐ)包(bāo)括光柵尺(chǐ)或鋼光柵尺 帶和(hé)讀數頭，光(guāng)柵尺(chǐ)和(hé)讀(dú)數頭間無機械(xiè)接 觸。 敞開式(shì)直綫(xiàn)光(guāng)柵(zhà)尺的光(guāng)柵尺(chǐ)帶固(gù)定(dìng)在安裝 麵上。因(yīn)此，安(ān)裝麵的平(píng)麵度(dù)是高精度直(zhí) 綫光柵尺應用(yòng)的基礎(chǔ)條件。

測(cè)量(liáng)原(yuán)理(lǐ) 測量(liáng)基(jī)準(zhǔn)

海(hǎi)德(dé)漢公(gōng)司的光學掃(sǎo)描光柵尺(chǐ)或編(biān)碼器(qì)的 測量(liáng)基準都是(shì)周(zhōu)期刻綫－光(guāng)柵。 這(zhè)些(xiē)光柵刻(kè)在(zài)玻(bō)璃或鋼(gāng)材基體上(shàng)。大(dà)長 度(dù)測量(liáng)用(yòng)的(dí)光(guāng)柵尺帶的基(jī)體(tǐ)為(wéi)鋼帶(dài)。 海(hǎi)德(dé)漢公(gōng)司(sī)用(yòng)以下特別開發(fā)的光(guāng)刻(kè)工藝(yì) 製(zhì)造(zào)精(jīng)密光柵(zhà)。

• AURODUR：在鍍金鋼(gāng)帶(dài)上(shàng)蝕刻綫(xiàn)條， 典(diǎn)型柵距(jù)40 µm • METALLUR：抗汙染(rǎn)的(dí)鍍金層金屬(shǔ)綫(xiàn)， 典型柵距20 µm

• DIADUR：玻(bō)璃基體的超硬鉻綫(xiàn)（典(diǎn)型(xíng)柵(zhà) 距20 µm）或玻璃(lí)基體(tǐ)的(dí)三維鉻綫格柵 （典型(xíng)柵距8 µm）

• SUPRADUR相位(wèi)光(guāng)柵：光(guāng)學三(sān)維(wéi)平麵格 柵綫(xiàn)條；*抗汙(wū)能(néng)力；典(diǎn)型柵(zhà)距(jù)不(bù)超 過(guò)8 µm

• OPTODUR相位光柵：光(guāng)學(xué)三維(wéi)平(píng)麵格柵(zhà) 綫(xiàn)條(tiáo)，超高(gāo)反光性能(néng)，典型柵距不(bù)超過(guò) 2 µm 這種方(fāng)法除(chú)了(liǎo)能刻(kè)製(zhì)柵距(jù)非(fēi)常小(xiǎo)的(dí)光(guāng)柵 外，而且刻製的光柵(zhà)綫(xiàn)條邊緣(yuán)清(qīng)晰，均 匀(yún)。再(zài)加(jiā)上光(guāng)電(diàn)掃(sǎo)描法(fǎ)，這(zhè)些邊緣(yuán)清晰(xī) 的刻綫是(shì)輸出高質(zhì)量信號的(dí)關鍵。 母(mǔ)版(bǎn)光(guāng)柵(zhà)采(cǎi)用海(hǎi)德漢公司(sī)定(dìng)製(zhì)的(dí)精密(mì) 刻綫機(jī)製造。

heidenhain海(hǎi)德(dé)漢光(guāng)柵(zhà)尺LIP 382精(jīng)度0.001µm

LIP 372，LIP 382 超高(gāo)精(jīng)度(dù)增量式直綫光柵尺

• 測量(liáng)步距(jù)達0.001 µm（1 nm）

• 測(cè)量基準用螺栓(shuān)固(gù)定

如(rú)有需(xū)要(yào)詳(xiáng)情(qíng)，請見(jiàn)：heidenhain海(hǎi)德(dé)漢光柵尺LIP 382精度(dù)0.001µm