heidenhain海德漢(hàn)光柵尺LIP481V/LIP481U

直(zhí)綫(xiàn)光柵(zhà)尺在真空(kōng)技(jì)術中的應(yīng)用(yòng)

真空是一(yī)個無任(rèn)何物質的空(kōng)間，例如在真(zhēn)空(kōng)中沒(méi)有空氣(qì)也(yě)沒(méi)有任(rèn)何其它氣(qì)體。 根(gēn)據(jù)真空(kōng)的純度(dù)，通常將真空分為(wéi)低真空，中(zhōng)等真(zhēn)空(kōng)，高(gāo)真(zhēn)空(kōng)或超(chāo)高真(zhēn)空。 真(zhēn)空(kōng)技術(shù)在許(xǔ)多現(xiàn)代化(huà)生(shēng)產過(guò)程(chéng)和(hé)科研工作中發揮著重要作(zuò)用。因此，真空技術是(shì)電(diàn)子(zǐ)，薄(báo)膜技術(shù)，新材(cái)料開發(fā)，生物技(jì)術以及醫(yī)藥和 分(fēn)析技術*的(dí)技術。 真空(kōng)應用(yòng)對零(líng)部件有嚴(yán)格的(dí)要(yào)求(qiú)，當(dāng)然也影響(xiǎng)到定(dìng)位應用的(dí)編(biān)碼器(qì)。海德漢針對(duì)高真(zhēn)空和(hé)超(chāo)高真(zhēn)空應用(yòng)特別設(shè)計(jì)的直綫(xiàn)光柵(zhà)尺能滿足 這些(xiē)要求(qiú)，真空(kōng)版(bǎn)的特殊設計包(bāo)括(kuò)：

• 滿足(zú)真空(kōng)要求的(dí)PCB，黏(nián)膠和(hé)漆(qī)料，減少氣(qì)體析(xī)出 • 通氣(qì)的(dí)空腔，縮短抽真(zhēn)空時間(jiān) • 耐(nài)高溫，支持較(jiào)高的加(jiā)熱(rè)溫度 • 無磁(cí)鐵材料(liào)，提(tí)高過(guò)程可靠(kào)性(xìng) • 超淨(jìng)車間生(shēng)產(chǎn)，確(què)保高清潔(jié)度

真(zhēn)空(kōng)等級

在密閉的(dí)空(kōng)間(jiān)中，空氣(qì)被抽出(chū)成為(wéi)無(wú)空氣 的空(kōng)間(jiān)。氣室內(nèi)的(dí)空氣(qì)減少，氣壓下(xià)降， 產生真空(kōng)。封(fēng)閉空間(jiān)中的空(kōng)氣量越少，氣(qì) 壓越低，真(zhēn)空度越高(gāo)。真(zhēn)空(kōng)度(dù)分為四(sì)級。 高(gāo)於1 mbar的氣(qì)壓為低(dī)真空度(dù)。低於(yú)該(gāi)氣(qì) 壓(yā)時(shí)，為中等(děng)真(zhēn)空度。低(dī)於(yú)0.001 mbar為 高(gāo)真(zhēn)空(kōng)度，達到或(huò)低於(yú)0.000 000•1•mbar 為超高真空(kōng)度。

真空(kōng)應用(yòng)

真空需要一(yī)個密(mì)閉(bì)的空間不(bù)存(cún)在任(rèn)何(hé)空氣， 因此也不存在任(rèn)何(hé)懸(xuán)浮顆(kē)粒，不允許任 何“異物(wù)”存(cún)在。有時(shí)需要在(zài)真(zhēn)空中測(cè)量 尺(chǐ)寸，例(lì)如需(xū)要檢查(chá)亞微米(mǐ)級(jí)的超(chāo)精(jīng)細(xì)結(jié) 構或(huò)需要切(qiē)分(fēn)和(hé)檢(jiǎn)查(chá)顆(kē)粒(lì)。直(zhí)綫光(guāng)柵(zhà)尺和 角度(dù)編(biān)碼器(qì)在(zài)真空中的(dí)常見(jiàn)應用(yòng)包(bāo)括(kuò)電(diàn)子(zǐ) 顯(xiǎn)微鏡(jìng)，機械手，多路執行(háng)器，XY工(gōng)作(zuò) 台，電(diàn)子束顯微鏡(jìng)，半(bàn)導體工(gōng)業的圓晶檢 查或測(cè)量(liáng)同步加速(sù)器(qì)輻射的(dí)光譜(pǔ)儀軸。

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