質量(liáng)流量控製器

質(zhì)量(liáng)流(liú)量控(kòng)製器的(dí)英文(wén)名(míng)字(zì)叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱MFC)，它(tā)通(tōng)常(cháng)由電路(lù)板，傳感器(qì)，進(jìn)出氣(qì)管道接(jiē)頭，分流器管(guǎn)道，機殼，調(tiáo)節閥(fá)等(děng)部(bù)件組成。

它(tā)的工作(zuò)電源及流(liú)量(liáng)顯示和設定等操(cāo)作(zuò)由(yóu)與(yǔ)其(qí)配套的流(liú)量顯(xiǎn)示電(diàn)源提供。

用(yòng)途與特點

質量流量控製(zhì)器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用於對於氣體或者(zhě)液(yè)體的(dí)質(zhì)量(liáng)流(liú)量(liáng)進(jìn)行精(jīng)密測(cè)量和(hé)控製。擴散(sàn)，氧(yǎng)化，分(fēn)子(zǐ)束外延(yán)，CVD，等(děng)離(lí)子刻蝕(shí)，濺(jiàn)射，離(lí)子(zǐ)注(zhù)入(rù)，以(yǐ)及(jí)真空(kōng)鍍膜設(shè)備(bèi)，光(guāng)纖(xiān)熔煉(liàn)，微(wēi)反(fǎn)應(yīng)裝(zhuāng)置，混氣配(pèi)氣係統，毛(máo)細(xì)管(guǎn)測量(liáng)氣象(xiàng)色(sè)譜儀(yí)，光導(dǎo)纖維製(zhì)造設備中。並廣泛用於(yú)石油化工。冶(yě)金(jīn)，製藥等。特點：精(jīng)度高(gāo)，重復性好。

一般類(lèi)型

流量計(jì)一(yī)般(bān)分(fēn)為以下幾種類型(xíng)：

1. 容積(jī)式(shì)流(liú)量計，又(yòu)稱(chēng)定排量流(liú)量(liáng)計(jì)。它利用機(jī)械測量(liáng)元(yuán)件(jiàn)把流(liú)體(tǐ)連(lián)續不(bù)斷的分(fēn)割成單個已知的(dí)體積部分(fēn)，根據測量(liáng)室(shì)逐次重(zhòng)復的充(chōng)滿和排(pái)放該(gāi)體(tǐ)積(jī)部分流體的(dí)次數來測量流(liú)體(tǐ)體積流(liú)量。

2. 浮(fú)子(zǐ)式(shì)流(liú)量計，又稱(chēng)轉子流量計，是變(biàn)麵(miàn)積式流量計的(dí)一種，在(zài)一根由(yóu)下向(xiàng)上(shàng)擴(kuò)大的垂直錐管中，圓(yuán)形橫(héng)截麵(miàn)的浮子的(dí)重(zhòng)力是由液(yè)體動力承受(shòu)的(dí)，從而使浮子可(kě)以在錐(zhuī)管中(zhōng)自(zì)由的上(shàng)升(shēng)和(hé)下(xià)降(jiàng)。

3. 差壓(yā)式流量(liáng)計(jì) ，是根據安(ān)裝(zhuāng)於(yú)管(guǎn)道(dào)中(zhōng)流(liú)量(liáng)檢(jiǎn)測件產生的差壓(yā)，已知的(dí)流體(tǐ)的條件和(hé)檢(jiǎn)測間與(yǔ)管(guǎn)道(dào)的尺(chǐ)寸來計(jì)算(suàn)流量的儀表。

4. 渦街流(liú)量計，在(zài)流體中安(ān)放一根非流(liú)綫型(xíng)遊(yóu)渦(wō)發生體，流體在(zài)發生體(tǐ)兩側交替的分離釋(shì)放出兩(liǎng)串規則地(dì)交錯(cuò)排列的(dí)遊渦的(dí)儀表。

5. 渦(wō)輪流量(liáng)計(jì)，是速度(dù)式(shì)流量(liáng)計中(zhōng)的主(zhǔ)要(yào)種類(lèi)，它采用多葉片(piàn)的(dí)轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流(liú)體平(píng)均流速(sù)，從而(ér)推導出(chū)流量或(huò)總量的(dí)儀(yí)表(biǎo)。

6. 超聲(shēng)流量計(jì)，通過(guò)檢測(cè)流體流(liú)動(dòng)對(duì)超聲束（或(huò)超聲脈衝）的(dí)作(zuò)用以(yǐ)測量流量的(dí)儀(yí)表。

7. 電(diàn)磁(cí)流(liú)量(liáng)計，電(diàn)磁(cí)流(liú)量(liáng)計是(shì)根(gēn)據法拉(lā)弟電磁(cí)感應(yīng)定律製成的(dí)一種測量導(dǎo)電(diàn)性液體的儀(yí)表。電(diàn)磁(cí)流量計(jì)有一係(xì)列(liè)優良特(tè)性,可(kě)以(yǐ)解決其(qí)它(tā)流量(liáng)計不易應用(yòng)的問題,如髒汙(wū)流，腐蝕(shí)流的測量(liáng)。

8. 熱(rè)式流量計，熱(rè)式(shì)流量計傳(chuán)感器(qì)包含兩個傳感(gǎn)元件，一個(gè)速度傳感器(qì)和(hé)一(yī)個溫(wēn)度(dù)傳(chuán)感器。它們自動(dòng)地(dì)補償和校(xiào)正(zhèng)氣體溫度變(biàn)化。儀(yí)表的電加(jiā)熱部分(fēn)將速度傳(chuán)感器加熱到高於工況溫(wēn)度(dù)的某一(yī)個(gè)定值，使速度(dù)傳(chuán)感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之(zhī)間(jiān)形成(chéng)恒定溫差。當保(bǎo)持溫差不變時，電(diàn)加熱消(xiāo)耗的(dí)能(néng)量，也可以說熱消散值，與流過氣體的(dí)質量流量成正(zhèng)比，它(tā)適合(hé)單一氣(qì)體和固(gù)定比(bǐ)例多組份(fèn)氣(qì)體(tǐ)的測(cè)量(liáng)。

科(kē)裏奧(ào)利(lì)式(shì)流(liú)量計(jì)，其原理(lǐ)是利(lì)用流體在(zài)振管內(nèi)流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的科氏(shì)力(lì)，以(yǐ)直接(jiē)或間接地方(fāng)法測(cè)量其力(lì)而得到(dào)流(liú)體質量流量(liáng)。

標準氣體型(xíng) azbil山武質(zhì)量流量(liáng)控(kòng)製器

世(shì)jie小(xiǎo)(48mm口×厚73.7mm)重量輕(qīng)(300g)的(dí)質量(liáng)流量控(kòng)製器(qì)

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