光柵測量(liáng)位(wèi)移的(dí)實質(zhì)是以(yǐ)光(guāng)柵柵(zhà)距為(wéi)一把標(biāo)準(zhǔn)尺(chǐ)子對(duì)位(wèi)稱量進(jìn)行測量。高(gāo)分辨率的(dí)光柵尺(chǐ)一(yī)般造(zào)價較貴，且製(zhì)造困(kùn)難。為了提高(gāo)係(xì)統(tǒng)分(fēn)辨(biàn)率，需要對莫爾條紋進行(háng)細(xì)分，目前(qián)（2006年）光柵尺傳感(gǎn)器(qì)係統多采(cǎi)用(yòng)電(diàn)子(zǐ)細(xì)分方(fāng)法(fǎ)。當(dāng)兩(liǎng)塊光(guāng)柵以微小傾角重(zhòng)疊(dié)時，在(zài)與(yǔ)光柵刻綫(xiàn)大致垂直(zhí)的(dí)方向上就(jiù)會產(chǎn)生(shēng)莫爾(ěr)條紋(wén)，隨著(zhuó)光柵的移動(dòng)，莫(mò)爾(ěr)條(tiáo)紋(wén)也隨(suí)之上下(xià)移(yí)動(dòng)。這樣(yàng)就把對光(guāng)柵柵距(jù)的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對莫爾(ěr)條(tiáo)紋個數(shù)的測(cè)量(liáng)。

　　在(zài)一(yī)個莫(mò)爾條紋(wén)寬(kuān)度內，按照一(yī)定(dìng)間隔放(fàng)置(zhì)4個(gè)光電(diàn)器件就(jiù)能實現(xiàn)電(diàn)子細(xì)分與(yǔ)判(pàn)向功能。例如，柵綫為50綫(xiàn)對/mm的光柵尺，其光柵柵(zhà)距為(wéi)0.02mm，若(ruò)采(cǎi)用四(sì)細分(fēn)後(hòu)便(biàn)可得到分(fēn)辨(biàn)率(shuài)為(wéi)5μm的計數(shù)脈衝(chōng)，這在(zài)工(gōng)業(yè)普通測控(kòng)中已達(dá)到(dào)了很高(gāo)精(jīng)度(dù)。由(yóu)於位移是(shì)一個矢(shǐ)量，即(jí)要(yào)檢(jiǎn)測其(qí)大小(xiǎo)，又(yòu)要檢(jiǎn)測(cè)其方(fāng)向(xiàng)，因此(cǐ)至(zhì)少(shǎo)需要(yào)兩路(lù)相位不(bù)同的(dí)光電(diàn)信號。

　　為了(liǎo)消(xiāo)除共(gòng)模幹(gān)擾，直流分量(liáng)和(hé)偶次(cì)諧波(bō)，通常(cháng)采(cǎi)用由(yóu)低(dī)漂移運放(fàng)構成的(dí)差分(fēn)放大器(qì)。由4個光敏器件(jiàn)獲得的(dí)4路光電(diàn)信(xìn)號分別(bié)送(sòng)到2隻(zhī)差分放(fàng)大器(qì)輸(shū)入端，從(cóng)差分放大器輸出(chū)的(dí)兩路(lù)信號(hào)其相(xiāng)位差(chà)為π/2，為得到(dào)判向(xiàng)和計數脈衝(chōng)，需(xū)對這兩(liǎng)路(lù)信號(hào)進(jìn)行整形，首(shǒu)先(xiān)把(bǎ)它們整(zhěng)形(xíng)為占(zhān)空比(bǐ)為(wéi)1：1的(dí)方波。然(rán)後(hòu)，通過(guò)對方波的相(xiāng)位進行(háng)判(pàn)別(bié)比(bǐ)較(jiào)，就(jiù)可以(yǐ)等到光(guāng)柵尺的(dí)移動方向。通過對方波脈(mài)衝進(jìn)行(háng)計數，可以等到光柵尺的(dí)位移和速(sù)度。

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