工作(zuò)原理

莫爾條紋

以(yǐ)透射(shè)光(guāng)柵(zhà)為(wéi)例，當指(zhǐ)示(shì)光(guāng)柵上的(dí)綫(xiàn)紋(wén)和(hé)標尺(chǐ)光柵(zhà)上的(dí)綫紋之間(jiān)形成一(yī)個小(xiǎo)角度θ，並且(qiě)兩個光(guāng)柵(zhà)尺刻麵相對平(píng)行(háng)放置(zhì)時(shí)，在(zài)光(guāng)源(yuán)的(dí)照射下，位(wèi)於幾(jī)乎垂直的柵紋(wén)上(shàng)，形成明(míng)暗相(xiāng)間(jiān)的(dí)條(tiáo)紋。這(zhè)種(zhǒng)條(tiáo)紋稱為“莫爾(ěr)條(tiáo)紋” (右圖所示)。嚴格(gé)地說(shuō)，莫(mò)爾條紋排(pái)列(liè)的方向是與兩片(piàn)光(guāng)柵綫(xiàn)紋(wén)夾角(jiǎo)的平分(fēn)綫(xiàn)相垂直(zhí)。莫爾(ěr)條(tiáo)紋(wén)中兩條亮紋(wén)或兩條(tiáo)暗紋(wén)之間的(dí)距離(lí)稱(chēng)為莫爾(ěr)條紋的寬度(dù)，以(yǐ)W表示。

莫爾(ěr)條紋

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫(mò)爾(ěr)條紋具(jù)有(yǒu)以下特征：

(1)莫(mò)爾(ěr)條(tiáo)紋的(dí)變化規律

兩片(piàn)光(guāng)柵相(xiāng)對移(yí)過一個柵距(jù)，莫爾條紋移(yí)過一個(gè)條紋距(jù)離(lí)。由於光的(dí)衍(yǎn)射與幹涉作用，莫(mò)爾(ěr)條紋(wén)的(dí)變化(huà)規律近(jìn)似正(zhèng)(餘(yú))弦函(hán)數，變(biàn)化周期數與光柵(zhà)相(xiāng)對位(wèi)移的柵(zhà)距(jù)數(shù)同步(bù)。

(2)放大(dà)作用

在(zài)兩光柵(zhà)柵(zhà)綫夾角較(jiào)小的情況下，莫(mò)爾條紋(wén)寬(kuān)度(dù)W和(hé)光(guāng)柵(zhà)柵(zhà)距ω，柵綫角θ之間(jiān)有下(xià)列關係(xì)。式中，θ的單(dān)位為(wéi)rad，W的(dí)單位為mm。由於傾角(jiǎo)很小(xiǎo)，sinθ很(hěn)小，則(zé)

W=ω /θ

若(ruò)ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可(kě)得W=1，即光柵放大(dà)了100倍。

(3)均(jūn)化(huà)誤差作(zuò)用(yòng)

莫爾條紋是由(yóu)若幹(gān)光柵條(tiáo)紋共(gòng)用(yòng)形成(chéng)，例如每(měi)毫(háo)米100綫的光柵，10mm寬度(dù)的(dí)莫(mò)爾條紋(wén)就有1000條(tiáo)綫紋(wén)，這樣柵距之間(jiān)的相(xiāng)鄰誤(wù)差就被(bèi)平均化(huà)了，消除了由(yóu)於柵距不均(jūn)匀，斷裂等(děng)造(zào)成(chéng)的誤(wù)差(chà)。

heidenhain海(hǎi)德漢(hàn)光柵尺(chǐ)LIDA209精(jīng)度(dù)±15 µm

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