藍(lán)寶石隔膜真空計 SPG5/6/7的受壓部(bù)采用(yòng)了高耐腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)，高耐熱性(xìng)且機械特性優異的(dí)單(dān)晶(jīng)體(tǐ)藍寶(bǎo)石
，通過檢測(cè)靜電容量(liáng)
，即(jí)使在(zài)高(gāo)溫(wēn)檢(jiǎn)測環境下也能實(shí)現高(gāo)的檢(jiǎn)測(cè)重復(fù)性(xìng)。
通(tōng)過*的信號(hào)處理技(jì)術(shù)實現了溫度特性，直(zhí)綫性(xìng)等(děng)誤(wù)差小的(dí)檢(jiǎn)測
，由(yóu)微加工(gōng)技術(shù)而形成(chéng)的藍寶(bǎo)石傳感器(qì)實現了小型(xíng)，輕量(liáng)化(huà)的自加熱(rè)型隔膜(mó)真(zhēn)空(kōng)計(jì)。

提(tí)高品(pǐn)質

真(zhēn)空(kōng)計多(duō)數(shù)在(zài)有大的(dí)壓力環境下(xià)使用(yòng)
，是容易因各種原(yuán)因引起零(líng)點漂(piāo)移(yí)的(dí)產(chǎn)品。真空計的零點(diǎn)漂移(yí)會(huì)影響控製量
，從而(ér)會影響終產(chǎn)品的品質(zhì)。藍(lán)寶(bǎo)石(shí)隔膜(mó)真(zhēn)空計采用(yòng)了零點不易(yì)漂移(yí)的構(gòu)造。

提高生(shēng)產性(xìng)

減(jiǎn)少(shǎo)了設(shè)備的(dí)停(tíng)機(jī)時間(jiān)。備(bèi)有(yǒu)用(yòng)於減(jiǎn)少停機(jī)避免(miǎn)時間(jiān)浪費的(dí)功(gōng)能(néng)。

山(shān)武azbil藍寶石(shí)隔(gé)膜真空計

概要

藍寶石隔(gé)膜真空計(jì)SPG係列(liè)采用(yòng)了(liǎo)藍寶石靜電(diàn)容(róng)量式圧(yā)力傳(chuán)感(gǎn)器(qì)是(shì)具有(yǒu)高精度(dù)，高可靠性，高耐(nài)蝕性(xìng)的小型・輕(qīng)量(liáng)的隔膜真空(kōng)計(jì)主要(yào)用(yòng)於半導體工藝流(liú)程

特長

采樣高(gāo)付(fù)腐(fǔ)蝕性(xìng)，高時(shí)熱性的(dí)單品體藍寶石感(gǎn)壓(yā)部材料采(cǎi)用(yòng)具(jù)有(yǒu)高(gāo)付(fù)蝕(shí)性，高(gāo)熱性(xìng)，機械(xiè)特性(xìng)優異的單品體藍寶石(shí),通(tōng)過(guò)靜(jìng)電容量檢測(cè)方式,即使(shǐ)在高溫檢測環境下(xià)也(yě)可實現(xiàn)高的(dí)檢測重復性

檢測誤差小(xiǎo)

采用*的(dí)信號(hào)處理技術(shù)實現(xiàn)了(liǎo)溫(wēn)度特性，直綫性(xìng)等誤(wù)差小的(dí)檢(jiǎn)測

・小型(xíng)/輕量(liáng)的本(běn)體

通(tōng)過采用(yòng)*的足微(wēi)機械(xiè)加工(gōng)技術(shù)形(xíng)成(chéng)的(dí)藍(lán)寶石傳感器，實(shí)現(xiàn)了大(dà)幅度的小型/輕量(liáng)化簡單的零點調整(zhěng)功(gōng)能通(tōng)過Auto零(líng)點(diǎn)調(tiáo)整開關或 Up/Down零點調(tiáo)整(zhěng)開關(guān),可(kě)簡(jiǎn)單地(dì)進(jìn)行零點(diǎn)調(tiáo)整(zhěng)

・機(jī)器(qì)狀態顯示(shì)

通(tōng)過(guò)LED足(zú)示,可一目了然地(dì)判(pàn)斷產品(pǐn)的狀(zhuàng)態(tài)(正常(cháng)，預熱中，異(yì)常(cháng))

·迅速啟(qǐ)動(dòng)和(hé)穩定的溫(wēn)度(dù)控(kòng)製

通過采(cǎi)用(yòng)了(liǎo)微(wēi)處(chǔ)理器的數字(zì)PD運算(suàn)對加熱(rè)器進(jìn)行溫度(dù)控(kòng)製實(shí)現(xiàn)了迅速啟(qǐ)動(dòng)和(hé)穩定(dìng)的溫度控製(zhì)

·智能(néng)編(biān)程器軟件(jiàn)包(bāo)對應(yīng)

智(zhì)能編(biān)程器軟件(jiàn)包(bāo)對應(另售(shòu)SLP-SP5J70)可(kě)方便地進行(háng)監(jiān)視(shì)和參數(shù)的讀(dú)寫

符(fú)合CE

符合(hé)C指令，符(fú)合(hé)CE標識。(適合規格:EN61326，EN55011)

如(rú)有需要詳(xiáng)情
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